产品简介
欧斯迈osi1900系列系列是一个集成的、多输出高压电源，专为扫描电子显微镜（SEM）驱动器而设计的。加速部分是一个高稳定的30kV电源，并集成了悬浮灯丝灯源、引出电源和抑制电源，可安装在19英寸机架中。所有的输出都提供超低的输出纹波、最小的微放电、优良的调节，稳定性、温度系数和精确规格适用于更高的图像质量和分辨率要求。悬浮电源是通过欧斯迈专有高压隔离技术提供的。客户对这一集成osi1900电源系统的控制是通过光纤RS-232接口完成的。所有的安全互锁都是基于故障安全硬件设计。
产品特点
- 集成四极管电源适用于场发射扫描电镜
- 极低纹波和超稳定输出
- 具有电弧和短路保护
- 最小化微放电设计
- 光隔离数字接口
规格说明
| 参数项目 | 说明 |
|---|---|
| 输入 | +24VDC，±5%，4A。浪涌电流<6A适用于1秒。 |
| 真空联锁装置 | 真空联锁是一种光学联锁，当光在光纤中存在时其工作。当没有光存在时此联锁不工作并且此电源关闭所有的输出。 |
| 前面板指示 | 开启：一个发绿色光的LED表示+24V电源存在，它将在22.8至25.2V的范围内被点亮，当超出范围是将闪烁1秒。真空联锁：黄色发光LED指示真空联锁关闭。真空联锁必须点亮，才能产生高压。 |
| 测试GUI | 一个产品GUI可以免费提供给客户进行测试和开发工作。 |
| 保护 | 所有输出都有保护，防止负载中的电弧和对地和彼此之间的连续短路。所有低电压输入都有±30V的过电压保护。电源输入有过压保护和反接保护。如果BeamEnergy有超过‘A’电弧在一个标称‘B’时间（秒）期间，该单元将禁用所有输出和设置所有编程为零。如果有少于‘A’电弧，该单元将继续运行。默认值为A=8，B=10。‘A’和‘B’都可以通过光总线命令和GUI来设置。如果过温条件超过10秒，所有输出将被禁用。此单元通过状态标志报告故障或跳闸条件。在一个跳闸出现（电弧、过流、过压、过温等等）之后，此单元可以通过软件（光纤总线命令）或电源循环进行复位。 |
| 环境温度 | 工作时：+10℃至+45℃。存储时：−20℃至+60℃。 |
| 湿度 | 0至80%相对湿度，无冷凝。 |
| 机械 | 此单元上设有一对可拆卸安装法兰；这些允许此单元安装在一个19英寸机架系统中。 |
| 外形尺寸 | 宽482.6mm，高133.4mm，深360.5mm。 |
| 重量 | 20kg。 |
典型应用
扫描电子显微镜（SEM）；电子束控制器。
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