
产品简介
欧斯迈osi1210系列高功率高压电源,具有低纹波率优于0.1%的性能表现。采用空气绝缘设计,内部搭载高反应速度单元,实现高精度调节和极低电弧放电电流。除了在正常高压电场下的应用,欧斯迈osi1210系列高功率高压电源还能在负阻性负载场合如离子源等应用中高效、可靠地运行。
产品特点
- 输出电压20kV
- 符合CE标准
- 输出功率5kW
- 纳秒级保护响应
- 0.1%峰峰值纹波
- 安全的互锁功能
- 快恢复、低电弧放电电流
- 可根据用户要求定制
规格说明
| 参数项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 输入 | AC380V±10%,50/60Hz,20A。 |
| 输出 | 1kV至20kV等多种最高输出电压可选,最大输出功率5kW。0到最高电压连续可调,输出正负单一极性。 |
| 前面板状态指示 | 高压开、高压关、电压电流显示,过压、过流、短路、电弧和过温保护,电源还具有错误代码显示功能。 |
| 电压控制 | 电源内部:电源自带旋转编码器可将输出电压设置在0到最高电压之间。外部模拟控制:外部0到10V控制信号可将输出从0调到最高输出电压。数字通信控制:可通过RS-485通信接口,按标准Modbus通信协议可将输出从0调到最高电压。 |
| 电流控制 | 电源内部:电源自带旋转编码器可将电流设置在0到最高电流之间。外部模拟控制:外部0到10V控制信号可将电流设置在0到最高电流之间。数字通信控制:可通过RS-485通信接口,按标准Modbus通讯协议可将输出从0调到最高电流。 |
| 电压调整率 | 相对负载:0.01%(空载到额定负载)。相对输入:±0.01%(输入电压变化为±10%)。 |
| 电流调整率 | 相对负载:0.01%(空载到额定负载)。相对输入:±0.01%(输入电压变化为±10%)。 |
| 纹波 | 额定输出条件下,优于0.5%p-p(0.1%p-p可选)。 |
| 温度系数 | 电压和电流优于100ppm/℃。 |
| 稳定性 | 开机0.5小时后每8小时小于0.1%。 |
| 环境温度 | 工作时:0到45℃。储存时:-20℃到80℃。 |
| 电压电流指示 | 四位LED数码管,额定输出条件下准确度为±1%。 |
| 外形尺寸 | 宽482mm,高178mm,深520mm。 |
| 连接器 | 金属连接器连接。标准高压电缆长为2米。 |
| 重量 | 22kg。 |
| 上升时间 | <300ms(10ms定制可选)。 |
| 调节分辨率 | 额定电压0.02%。 |
| 输出精度 | <0.2%(重复精度)。 |
| 模拟量控制 | 0-10V(重复精度0.2%)。 |
| 电压/电流分辨率 | 0.1V/1mA。 |
| 远程控制接口 | RS-485、RJ45。 |
| 使用环境湿度 | 10-90%无结露。 |
型号选择及接口定义

典型应用
刻蚀;镀膜;半导体应用;离子源;加速器;耐压测试;老化测试。
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