产品简介
欧斯迈osi1903系列高压电源专为静电卡盘的应用而设计，能够在10ms内输出精确的电压，并在1s内切换极性，从而为半导体制程过程提供保护。它具有可逆的对地参考输出极性，也可以输出浮地双极电压，并有相应的浮地接口。它还有完善的故障诊断和状态监氵则功能，可以将数据传送到用户界面。它的封装设计紧凑轻便，可OEM。
产品特点
- 浮地，双极性输出，极性可切换
- 中心点监测
- 模拟量控制
- 485控制
- 以太网控制
规格说明
| 参数项目 | 说明 |
|---|---|
| 输入电压 | +24VDC±5%，5A。 |
| 输出极性 | 浮地，双极性输出，极性可切换。 |
| 最大输出电压 | 0至±5kV。 |
| 最大输出电流 | 2mA。 |
| 最大输出功率 | 20W。 |
| 电压调节 | 负载：≤0.001%（空载到额定负载）。 |
| 转换速率 | 典型1s。 |
| 最大循环频率 | 0.5Hz。 |
| 过冲 | <设定值的10%。 |
| 纹波 | 额定输出条件下优于0.1%p-p。 |
| 线路 | 在任何负载条件下，10%输入电压变化<0.1%。 |
| 负载 | 从零到满负载<1.3%。 |
| 电压显示 | 分辨率=100V。精度=实际输出的±1%（±10V偏置）。 |
| 电流显示 | 分辨率=100μA。精度=实际输出±100μA偏移的±2%。 |
| 典型负载电容 | <20nF（对于其他负载电容，请联系欧斯迈）。 |
| 保护 | 电弧和短路保护。配备输入和输出电流限制。输出电流限值可设置在0.1mA至2mA范围内。连续电弧保护方式需定制。 |
| 通信 | 通过DB9模拟量控制，也可选择RS-485串行接口、USB或以太网进行控制。注意：当以太网连接到LAN端口/485连接时，串行通信将被禁用。 |
| 前面板控制 | 具有用于本地控制的前面板按钮。 |
| 切换 | 手动改变输出极性。 |
| 输出开/关 | 软开关方式控制高压输出。 |
| 旋转控制/输入 | 用于导航和输入值更改。 |
| 稳定度 | 开机1小时后每8小时小于0.3%。 |
| 温度系数 | 电压和电流优于100ppm/℃。 |
| 环境温度 | 工作时：0℃至+45℃。储存时：−20℃至+70℃。 |
| 湿度 | 0至85%RH，非冷凝。 |
| 冷却 | 自然冷却。 |
典型应用
E-Chuck，静电卡盘，静电吸盘，静电吸附系统。
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